原子化方法分为以下三类：
(1)化学火焰原子化。生成的氢化物必须传输到原子化器中。Holak最初将氢化物直接导入到火焰中。因常用的空气乙炔火焰在短波处对光源吸收很大，例如As193.7nm处约有60%吸收。后来相继研究了在氩(空气)氢火焰及氮(空气)氢火焰等低温火焰，使测定的灵敏度有显著的提高。
(2)管内火焰原子化。由于在氢化物反应过程中生成了过量的氢气，将氢气和氢化物一起导入到T形石英管内，这时还有少量的空气或氧气混入管中形成氢扩散焰，氢化物在管中进行原子化反应，即管内火焰原子化。
(3)电加热石英管原子化器。这是氢化物发生原子吸收光谱分析上使用最为广泛的一种装置，不少市售产品都采用这种装置。由于氢化物导入石英管滞留时间比火焰中长，原子蒸气不会稀释，加热的温度也较容易控制，灵敏度也很高。
在石墨炉原子化器中原子化，有两种方法实现：一是将发生的氢化物收集到吸收液中，再引入石墨管;另一种方法是将所发生的氢化物直接通人载气中，载气进入加热到高温(2700℃左右)的石墨炉原子化器内。石墨炉原子化器为专用的石墨炉，长为92mm，管壁厚为0.1mm。