莫尔条纹测量位移原理
仪器信息网 · 2012-09-28 09:00 · 37317 次点击
通过前面分析可知,主光栅移动一个栅距ω,莫尔条纹就变化一个周期2π,通过光电转换元件,可将莫尔条纹的变化变成近似的正弦波形的电信号。电压小的相应于暗条纹,电压大的相应于明条纹,它的波形看成是一个直流分量叠加一个交流分量。[attach]54072[/attach]
式中,ω为栅距,x为主光栅与指示光栅间的瞬间位移,U0为直流电压分量,Um为交流电压分量幅值,U为输出电压。
由式(6‐24)可见,输出电压反映了瞬时位移的大小,当x从0变化到ω时,相当于电角度变化了360°,如采用50线/mm的光栅时,若主光栅移动了xmm,即50x条。将此条数用计数器记录,就可知道移动的相对距离。
由于光栅传感器只能产生一个正弦信号,因此不能判断x移动的方向。为了能够辨别方向,还要在间隔1/4个莫尔条纹间距B的地方设置两个光电元件。辨向环节的方框图如图6‐15所示。
[attach]54073[/attach]
正向运动时,光敏元件2比光敏元件1先感光,此时与门Y1有输出,将加减控制触发器置“1”,使可逆计数器的加减控制线为高电位。同时Y1的输出脉冲又经或门送到可逆计数器的计数输入端,计数器进行加法计数。反向运动时,光敏元件1比光敏元件2先感光,计数器进行减法计数,这样就可以区别旋转方向。