尼康晶圆装载机NWL860系列
LSI检测显微镜用晶圆转载机NWK860系列，NWL860TMB/TMB-SP/INX-TMB/TM/T备有背面红光检查功能强化型、不锈钢机壳型、SMIF升降机对应型等丰富机型。
尼康晶圆装载机规格
型号
NWL860TMB/TMB-SP/INX-TMB/TM/T
晶圆尺寸
&200mm/150mm（符合SEMI/JEIDA两项规格
晶圆盒
FIuoWearly公司PA182-60MB-06xx
PA192-80MB-06xx（容量25或26片）型
检查功能
1：微观检查2：表面宏检查3：背面周边宏观检查
4：背面中央宏观检查
（TMB为1-4项，TM为1-2项，T仅具第一项之功能
定边位/定位凹槽对齐
使用非接触式/投射式传感器检测定位边，按上下左右方向（每90度）检查，可指定前/后
载物台
专用载物台（可360度旋转，带真空吸盘）
可组合显微镜
ECLIPSEL200A/L200
尺寸
主机（WxDxH）
占地（WxD）
535x625x360mm/786x752x442xmm（INX系列）
（与LS检查显微镜组合时）：900x620mm/1450x800mm（INX系列）
重量
约50kg/约60kg（INX系列）
备注：仅INX系列有&200mm专用、&150mm专用2中机型
1类激光产品（输出40&W，波长780nm)
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