工作原理BAROCAP是利用硅膜尺寸变化测量压力的微机械传感器。当环境压力升高或降低时，薄膜弯曲，引起传感器内部真空间隙距离的减少或增加。真空间隙的两个相对平面起到电极的作用，当两侧电极间距发生变化时，传感器电容就会发生变化。测得的电容数据可转化为压力读数。正是由于采用单晶硅材料之故，BAROCAP传感器具有良好的弹性、较低的迟滞性、优秀的可重复性、较低的温度依赖性以及卓越的长期稳定性等诸多特性。电容式结构赋予传感器宽广的动态测量范围和过压保护的内在机制。大气压测量的常见应用气压测量在气象学领域具有广泛的应用。压力数据是估算大气中水汽含量不可或缺的参数。常见的压力应用包括气象站、数据浮标、GPS气象学、以及环境数据记录。气压测量还应用于水文和土壤学领域。在许多工业应用领域也需要使用气压测量数据。诸如激光干涉仪、激光光刻系统、航空应用以及废气分析等压力敏感型工业设备均需测量压力数据。在校准实验室的压力标准测量和环境监测等计量应用中也需要使用压力数据。BAROCAP概要25年以上的精确气压测量史采用硅基电容式传感器测量绝对压力大气压测量范围500...1100hPa工业应用测量范围可达50...1100hPa工艺过程压力测量范围1...10bar可溯源至美国国家标准技术研究所(NIST)压力测量BAROCAP的独特优势滞后性小，可重复性高卓越的长期稳定性能够承受恶劣的工作条件维萨拉提供各种专业级气压计，室内室外环境均可使用。BAROCAP气压计工作温度范围较广，在专业气象和航空领域等极端苛刻环境下也能保持可靠的工作性能。请在www.vaisala.com/pressure中查看维萨拉气压计的全系列产品。BAROCAP在带压系统测量中的应用在压缩空气系统和高压电气设备SF6绝缘气体监测领域，维萨拉DRYCAPR露点仪表拥有可靠稳定测量的悠久历史。除露点测量外，这两种应用还需要进行精确稳定的压力测量。维萨拉系列产品将DRYCAP和BAROCAP技术集成于一体，独家实现了带压系统压力测量和露点测量的结合。在测量压缩空气露点时，同时实时采集压力数据具有独特优点：可实现将测得的压力露点数据在线转换为常压露点或ppm单位，消除露点数据的任何模糊性。由于被测气体压力变动会引起露点变化，因此这一特性非常有用。露点和压力测量在高压电气设备SF6气体监测中将露点和压力结合在一起，为SF6绝缘状态的评估提供了有力工具。能够立即探测到泄漏情况，并为湿度问题提供早期预警。露点、压力和温度测量数据让SF6气体密度、标准化压力、常压露点以及ppm等所有SF6重要监测参数的计算成为可能。请在www.vaisala.com/pressure中查看压力与露点一体化测量的全系列维萨拉产品。
BAROCAP历史溯源
BAROCAP的历史可追溯至20世纪70年代末期，当时正在为新一代维萨拉无线电探空仪RS80研究首个微机械压力传感器。微机械研究具有相当的挑战性，维萨拉与芬兰国内及国际的大学和研究机构合作，进行基于硅基工艺处理的新型压力传感技术研发。在濒临项目截止日期之时研发获得重大突破。两艘破冰船和赫尔辛基电话公司成为首批BAROCAP传感器用户。BAROCAP传感器参与过数次火星探测以及卡西尼-惠更斯号探测器针对土星及其最大卫星泰坦的探测任务，行程远及人类尚未涉足的地点。作为2011年11月发射的美国宇航局(NASA)火星科学实验室仪器组成部分，BAROCAP传感器的星际探索之旅永无止境。