在环保要求愈来愈严的今天，无油清洁型真空泵在现代工业中起到不可小觑的作用，无油真空泵在与其他相关设备的配置好坏，直接关系到无油真空泵的性能能否得到有效发挥的问题，但是无油真空泵的一大缺点就是真空度不高，像WX系列无油旋片式真空泵；WLW系列立式无油往复泵的真空度在2000pa左右，但是此泵也需要真空泵油作为润滑剂使用，做不到100%的无油；但是也有一种纯无油的无油涡旋真空泵真空度可达到10pa，但是价格会高很多，很多企业不舍得投资，不得不继续使用原来的真空泵，造成对环境的继续伤害。
下图是实际生产中应用的一个物料减压回收流程示意图。图中，物料蒸汽在主冷凝器中被基本冷凝成液体，但在真空条件下，气体分子运动速度加快，气体密度减小，物料的凝结温度下降，冷凝器的总传热系数成倍缩小，因而在真空下物料冷凝(一次冷凝)往往不是很充分，尤其是低沸点溶剂类。未被充分冷凝的气体一部份在真空泵内随着压力的变化而液化，另一部份则在排气侧冷凝器中常压下冷凝(二次冷凝)。
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由于无油真空泵没有真空介质(真空泵油、水等)，通过无油真空泵的气体未受真空介质的污染。因而回收溶剂是洁净的。这样真空下冷凝部份转换成常压下冷凝，大大提高了溶剂类物料的回收率，对真空下难冷凝的物料特别有利。通过该流程配置，排放的尾气中已基本不含有机废气。另外，泵排空气体通过列管式冷凝器的壳程后，噪声也大为下降。
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