国内压力传感器市场形势
仪器信息网 · 2012-11-16 08:45 · 34186 次点击
国内压力传感器市场形势
我国压力传感器市场主要是工业自动化控制领域,和汽车领域。在工控领域里目前我国绝大部份采用扩散硅压力传感器、应变片式压力传感器和溅射薄膜压力传感器,而国内厂家生产面广量大的就是扩散硅压力传感器。在国内,西安市是我国笫二个五年计划里重点发展压力系列传感器的重要城市,陕西宝鸡市在省会城市西安的带动下,由原秦岭晶体管厂进行技术改造,和美国霍尼伟尔公司合作成立麦克传感器公司,为我国扩散硅压力传感器生产开创了先河。但MEMS技术和前道硅片制造技术仍控制在外国厂家手里。
进入九十年代,国际上MEMS技术有了长足的发展,硅片定向微机电加工精度和成品率不断提高,加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保证,成本也有所下降。在许多应用领域里,扩散硅压力传感器还必须与充油蕊体配套,这又使它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场的兴盛。
在国外,压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性,抗腐蚀、优良的线性精度和低成本开始逐渐替代扩散硅压力传感器,这也将是必然的发展趋势。国家科技部马颂德副部长在2005年底视察无锡时,对此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,此外德国WIKA公司和韩国Greensensor公司也生产陶瓷压力传感器,他们都看好中国市场。在具体的传感器设计理念双方的立场有不同的地方,这是正常现象,因为理论始终有待于实践提升。