脱盐率：通过反渗透膜从超纯水机系统进水中去除可溶性杂质浓度的百分比；透盐率：进水中可溶性杂质透过膜的百分比；脱盐率＝(1－产水含盐量/进水含盐量)×100％；透盐率＝100％－脱盐率；膜元件的脱盐率在其制造成形时就已确定，脱盐率的高低取决于膜元件表面超薄脱盐层的致密度，脱盐层越致密度越低脱盐率越高，同时产水量越低。反渗透对不同物质的脱除率主要由物质的结构和分子量决定，对高价离子及复杂单价离子的脱除率可以超过99％，对单价离子如：钠离子、钾离子、氯离子的脱除率稍低，但也超过了98％；对分子量大于100的有机物脱除率也可达到98％，但对分子量小于100的有机物脱除率较低。产水量：指超纯水机反渗透系统的产能，即单位时间内透过膜水量，通常用吨/H或加仑/天来表示。渗透流率:渗透流率也是表示反渗透膜元件产水量的重要指标。指单位膜面积上透过液的流率，通常用加仑每平方英尺每天（GFD）表示。超纯水机过高的渗透流率将导致垂直于膜表面的水流速加快，加剧膜污染。