传统的纯水方法不能制备出超纯水，超纯水机制造的超纯水的理论电导率为18.3ΜΩ.cm.人们生产的纯水是达不到理论值的，但18ΜΩ.cm似乎是可以达到的，对于这种水，有的称为超纯水。
现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来，不仅能生产超纯水，而且变得非常容易。目前市售的超纯水机就是一个成功的例子。自来水进去超纯水出来，非常方便。而且使用寿命也越来越长。超纯水机制备超纯水的原理和步骤大体如下：
1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
2、机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。
3、活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等；吸附细菌和某些过渡金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。
4、反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。
5、紫外线消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。