几种超导传感器件的结构
仪器网 · 2012-11-23 08:51 · 49033 次点击
利用约瑟夫逊效应,由超导体一绝缘薄膜一超导体构成的约瑟夫逊结、通称为隧道结。目前生产的几种隧道结如图12-67所示。图(a)是绝缘薄膜为2-5nm的氧化层或大约厚度为50nm的半导体.该隧道结由于近年来工艺水平的提高,可以生产稳定的器件。
[attach]55796[/attach]
图(b)是一种“弱连接”的窄须状超导体连接两个薄膜的结构,该结构也称为微桥结,其颈间距离约为1um。为了进一步减小临界电流,可通过正常金属衬底的方法实现。制作这种结的工艺难度较大,稳定性也不如隧道结。
图(c)是用铝螺钉结构形成扩弱连接”。尖的铝螺钉轻轻接触在超导平面上,然后固定住。这种点接触的形式有较好酌信噪比,但因其稳定性差,不适于大旦生产。
图(d)是“弱连接”的等效电路,它被措述成一个与相位有关的电流、电阻、电容的并联形式。