酶场效应晶体管的结构

  仪器仪表网 ·  2012-11-23 08:51  ·  50192 次点击
酶场效应品体管(Enzyme-basedFET,简记ENFET)是由酣膜和ISFET两部分构成、其中的ISFET又多为PH-ISFET,其结构如图12-51所示。把酶膜固定在栅极绝缘膜(Si3N4-SiO2)上、进行测量时,由于酶的催化作用,使待测的有机分子反应生成ISFET能够响应的离子。Si3N4,表面离子浓度发生变化时,表面电荷将发生变化,场效应晶体管栅极对表面电荷非常敏感,由此引起栅极的电位变化,这样就可以对漏极电流进行调制。
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