真空传感器可用于测量低、中真空中6位以下的宽范围压力(10^-1—10^-5Pa)。其体积甚小，故可测量微小空间的压力。这种传感器的结构简单、坚固、酚振性好、抗干扰能力强、不受安装方向的限制，故比电离真空计、热传导真空计、膜片真空计等便于使用。
出为感压元件消耗的功率非常小，同时感压过程不涉及电子、离子等带电粒子的运动，所以测量压力受被测系统的影响比其它真空传感器的小得多，甚至可以忽略。另外，闪感压元件由物理、化学性质稳定的水晶构成，故老化特性认可靠性高。该传感器可征极低温和高温等状态下测量压力。
压电式真空传感器可在很宽温度范围内，高可靠地测量压力，也可测量化学性质活泼的气体。特别适合溅射、干式腐蚀和化学气相淀积等利用真空技术的半导体工艺使用。
若将这种传感器与适当的外围装登配合使用，则不仅可测量压力，还可测量气体的流动。压电式真空传感器的灵敏度与被测气体的种类有关，故可用它进行气体分析以及测量气体粘度。