单电极的电容式位移传感器如图6.8.1所示，这种传感器在使用时常把被测对象作为一个电极使用，而将传感器本身的平面测端电极1作为电容器的另一极，通过电极座5由引线接入电路。金属壳体3与测端电极1间有绝缘衬套2使彼此绝缘。
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使用时壳体3为夹持部分，被夹持在标准台架或其他支承上，壳体3接大地可起屏蔽作用。图6.8.2所示是这种传感器的几种应用情况，图6.8.2a所示是振动位移测量，可测0.05um的位移。图6.8.2b所示是转轴回转精度的测量，利用正交安放的两个电容位移传感器，可测出转轴的轴心动态偏摆情况。
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以上两种测量均为非接触测量，故传感器特别适合于测量高频振动的微小位移。由于电容传感器的电容量不易做得较大，一般仅为几皮法至几十皮法，这样小的电容量往往给测量带来许多困难，如易接受外界电气干扰，对电缆的长度和状态变化很敏感，要求配套仪器的阻抗高等，故在一段相当长的时间内阻碍了电容传感器的应用。
随着电子技术的发展，这种缺点逐渐得到解决，并获得广泛的应用。