压阻式传感器的特点
仪器仪表网 · 2012-11-23 08:51 · 35804 次点击
压阻式压力传感器随着半导体工业和集成电路的迅速发展,在航空、宇航、风洞及其他领域得到广泛的应用。这种传感器有以下特点;
1)结构简单、可微型化。国内已有硅杯直径为1mm的传感器,国外有直径为0.8mm的,其量程为0.686MPa,输出为40mV。还有直径为1mm、厚度为0.4mm的扁型传感器,大量用于宇航和医学领域中。
2)可测高频。由于传感器小而轻,因此膜片刚度大、自振频率高。如某型压阻压力传感器自振频率可达90kHz;也有直径2mm、厚0.025-0.075mm的传感器,可宣接装于测压管内,测300-500kHz以下的脉动压力。
3)灵敏度高。半导体的灵敏度系数比金届电阻应变片高35-70倍,因此,传感器输出信号大,可达200mv,可不经放大而直接用记录仪记录。
4)精度高。非线性误差与滞后误差都较小,目前一般可达0.1%-0.05%,最高可达0.01%。
5)受温度影响大。因此国内只用于100℃以下。
6)量程小。用于0.686MPa以下。
7)不耐腐蚀。受腐蚀性气体或液体影响较大。
8)工艺复杂,要求严格,制作困难。
总之,这种扩散型压阻式压力传感器主要存在的问题是半导体工艺问题;另一个突出的问题是温度影响问题,这种传感器对温度变化极为敏感,以零点漂移与灵敏度漂移2种形式表现出来,因此必须有可靠的温度补偿措施。