热电偶式真空计的结构如图1-1-12所示。在一个上端开口的玻璃壳内封装有两组金属丝，一组是加热丝(钨丝或铂丝)通以恒定的加热电流，另一组是金属热电偶用以测量加热丝上的温度变化。热电偶的工作端焊接在加热丝上，其冷端与引出导线相连。
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热电偶式真空计的测量原理是基于加热丝周围气体的导热率与气体的稀薄程度(真空度)之间所存在的依赖关系。当真空计与被测真空系统相接之后，随着真空度的提高，加热丝附近气体逐渐变得稀薄，气体分子平均自由程加大，共导热率降低。由于加热电流恒定，加热丝所产生的热量也巨免但通过气体热传导散失的热量却因导抉串的降低而减少，因此加热丝的温度升高。通过热电悯将这种温度的变化转换成热电势变化，送显示仪表指示或记录，并直接以真空度刻度显示读数。
这种仪表的aag量上限为13.33mPa(10-4mmHg)。若真空度再总则气体更加稀薄，使得由于气体分子碰撞发热丝而带走的热量比由于热幅射及发热丝本身热传导历揩走的热量要小得多，以至在发热丝的总损失中由于气体热传导而损失的热量所占的比例大大降低，表就不能准确地反映真空度的变化。
该仪表的优点是可测量气体和蒸汽的压强，并实现了真空度和电信号间的变换，动检测和控制;缺点是能检测的真空度不太高而且怕振动。