压阻式传感器的温度漂移与补偿
仪器仪表网 · 2012-12-10 12:58 · 47572 次点击
压阻式传感器受到温度影响后,就要产生零位温度漂移和灵敏度温度漂移。这是压阻式传感器的最大弱点。
零位机度漂移的产生是出于扩散电阻的阻值随温度变化引起的,而扩散电阻的温度系数陌簿崖电阻木同而异,表而杂质冰度离时,薄层电阻小,温度系数也小;表面杂质浓度低时,簿层电阻大,温度系数也大。因此为减小温度系数,可提南表面杂质浓度,但这样做会使传感器的灵敏度降低。
压阻式传感器的灵敏度漂移是由于压阻系数随温度尖化引起的。当温度升高时,压阻系数变小;当温度降低时,压阻系数变大。所以,传感器的灵敏度在温度升高时要降低,温度降低时要升高,比就是说传感器的灵敏度温度系数足负的。如果扩散电阻的表面浓度高些,压阻系数随温度的变化要小些,传感器的灵敏度温度系数也要小些。
线路补偿方法是温度补偿的主投方法之一。以灵敏度温燎补偿为例,其补偿方法包括:在电桥电源溉并入温度系数很小的镍铬电段,以减小原始灵敏度漂移;采用热敏电阻网络,使其温度系数抵消电阻条副温度系数;利用便流源的电流温度特性进行补偿等等。