固态压阻式比力传感器一般称为固态压力传感器或扩散型压阻式压力传感器。它是将单晶硅膜片和电阻条采用集成电路工艺结合在一起，构成硅压阻芯片，然后将此芯片封接在传感器的外壳内，联接出电极引线而制成的。有时又称为集成传感器.
典型的压阻式压力传感器的结构原理如图3-11所示。硅胶片两边共有的个压力腔，一个是和被测压力相连接的高压腔，另一个是低压腔，通常用小管和大气相通。
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固态压力传感器的纳构比较简单，其核心部分是一个单晶硅膜片。膜片的设计与制作在很大程度上决定了传感器的性能。膜片一般设计成周边固支的圆型，其有效直径与厚度之比常在20-60的范围内。膜片上构成全桥的四片电阻条小有两片龙于压应力区：另外购片处于报应力区，它们的位置对于膜片中心是相互对称的。