几种典型的应变式压力传感器

  仪器信息网 ·  2012-12-10 12:58  ·  40957 次点击
典型的应变式压力传感器主要有平膜式、垂被服式和管式等三种。
平膜式传感器的基本结构如图3-2所示,被测压力作用于平膜的一面,而应变片则贴在平膜的另一面。这种传感器结构简单,工作端面平整,但灵敏度与频响特性间的矛盾较突出。随着高灵敏度的半导体应变片的出现,此矛盾大大地获得缓和。
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图3-4示出了单管式测压敏感元件原理图。共弹性敏感元件是一空心圆管,圆管内充以油脂。压力作用于圆管口部,经油脂传递而成为圆管内表面的压力,这个压力引起圆管变形。在圆管外表面沿圆周方向粘贴工作应变片,在圆管端部的实心部分外表面粕贴温度补偿片,组成半桥成全桥工作状态。由于温度补偿片所在的部位是实心的,所以热容量较大;而且离测比端控远,因此,当被测压力的工质温度发生变化时,温度补偿片的温度与工作片的温度有差异。为了减小这种兹异,用导热系数较仍的材料(如紫铜咨)做成一个锥形的温度均衡器并固定在圆管空腔的底部。由单管测压敏感元件构成的单管式测压传感器,如图3-5所示。
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