为了使去离子水RO装置能够安全可靠地运行，便于运行过程中的自动化运行及监控，需要在不同的过程节点安装相应的仪器仪表，一般需要装设的表计有温度表、压力表、流量表、pH表、电导率表、氯表、氧化还原电位表等，去离子水设备反渗透工艺中常用仪表的介绍如下：(1)温度表检测给水温度表并反馈给主机PLC系统，因产水量与温度有关，所以需要监测以便求出“标准化”后的产水量。大型设备应进行记录，另外，温度超过45℃会损坏膜元件，所以对原水加热器系统应设超限报警、超温水自动排放和停运RO的保护。(2)压力表给水压力表、第一段RO出水压力表、排水压力表用于计算每一段的压降(也可装设压差表)并用于对产水量和盐透过率进行“标准化”。盐透过率、产水量和△P压差用于RO性能问题的分析。给水泵进出口压力表用于监测给水泵进出口压力，进出口压力开关用于在进口压力低报警、停泵，出口压力高(延时，以防慢开门未打开)报警、停泵。(3)流量表产品水流量表在运行中监测产水量，每段应单独装设，以便于“标准化RO性能数据。产品水流量应有指示、累计和记录，浓水排水流量表在运行中监测排水量，应有指示、累计和记录。从各段产品流量和排水流量可计算出各段的给水量、回收率和整个RO系统回收率，给水流量表主要用于RO=加药量的自动调节（加酸、加阻垢剂、加亚硫酸氢钠往往两套RO共用），除知识累计外还要给出信号用于比例调节。(4)电导率表给水电导率表、纯水电导率表指示、记录水的电导率，可设置报警，从给水电导率和产品水电导率可估计出RO的脱盐率。(5)pH表当给水需加酸防止生成CaCO3垢时，加酸后的给水需装pH表在使用醋酸纤维素膜时，不仅为防止CaCO3垢生成，而且更重要的是维持最佳pH值。
(6)氧化还原电位表经加亚硫酸氢钠消除余氯的给水应装设氧化还原电位表，应有指示、记录、超限报警。
(7)液位表
检测原水箱、中间水箱及纯水箱的液位状况，并与系统PLC兼容，自动启停系统的运行。
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