**中科院力学所建成纳米检测光学测试系统**
作者：力学所2008-01-16
在中科院科研装备“择优支持”项目及力学所“十五装备”项目的支持下，国家微重力实验室建起“纳米检测光学测试系统”。系统由具有国际领先水平的光谱椭偏仪(SpecEllipsometer)和近场光学显微镜(SNOM)组成，前者以相敏和光谱的优势为二维纳米材料、多层纳米介质和生物分子膜层的定量光谱分析提供了高灵敏和高精度的检测手段；后者的光探针提供了表征纳尺度微观光学性质和无扰动探测柔性生物分子及其相互作用的能力，两者的有机结合提供了一种跨尺度光学检测平台。
光谱椭偏仪(SpecEllipsometer)设备是一种高精度的薄膜和表面测量设备，被美国国家标准局作为确立材料参数的标准设备，膜厚测量精度可达原子层量级，材料介电系数的精度达10-3。设备完成安装调试之后，已经在蛋白质芯片标定和超薄膜测量这类国际性难题中发挥了重要作用，相关结果在国际重要刊物AppliedOptics，Spectroscopy等发表。
近场光学显微镜(SNOM)是一种新型的纳米尺度光学表征手段，突破了传统光学显微镜的衍射分辨率限制，是扫描探针显微镜家族中的重要一员。该设备的反射模式、透射模式、剪切力模式等工作模式运行良好，性能指标也在实验中得到了验证。该系统已经在生物芯片微观表征，新型纳米表面材料研究等方面显示出独特的作用，获得高致病禽流感H5N1病毒和磷脂双层膜在芯片表面分布的清晰近场图像，相应结果发表在第4届国际光谱椭偏大会上。
为充分发挥该设备的使用效率，带动相关学科领域的发展，积极推进设备的开放共享，近年来还为北京大学工学院、北京有色金属研究总院、中国计量科学研究院等单位提供一系列科研测试服务，得到了满意的结果。
在未来的工作中，项目组将继续发挥设备的性能优势，为实验研究及理论探索提供保障，期待取得更多具有国际水准的成果。