微米级平台是如何实现亚微米级的对准呢?

  lee ·  2013-04-23 09:15  ·  10085 次点击
我现在的平台的定位精度是微米级,但因为有其他反馈控制,可达到亚微米级的对准。我就有点迷惑,手册上是说微米级的平台,意即就是定位精度是微米级,它能保证的移动量也应该在微米级,那是如何实现亚微米级的对准呢?比如,我需要该平台能走2μ,但它定位精度是5μ,那这个误差可能范围就太大了。
我想提的问题是:
1、精度,尤其是定位精度与重复定位精度,是否与行程有关?我认为是的,尤其是行程很小的时候。
2、是否平台存在这样一个概念,当行程很小的时候,不能简单的通过给出的定位精度、重复定位精度,而是有一个专门符合小行程的精度概念?

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