介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用.该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件,并配以专门的低功耗二次智能仪表,具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点,相信该流量计会有很广阔的应用前景.
全文请见：多参量MEMS气体质量流量计.pdf