X射线光电子能谱仪的主要用途

  Aaron ·  2011-07-14 09:52  ·  13447 次点击
主要用途:
XPS:
1.固体样品的表面组成分析,化学状态分析,取样深度为~3nm
2.元素成分的深度分析(角分辨方式和氩离子刻蚀方式)
3.可进行样品的原位处理
AES:
1.可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析,线分析和面分析)
2.可进行深度分析适合:纳米薄膜材料,微电子材料,催化剂,摩擦化学,高分子材料的表面和界面研究

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