氦质谱检漏仪基本原理

  仪器信息网 ·  2013-01-29 17:28  ·  63580 次点击
氦质谱检漏仪基本原理
一、为什么要检漏
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用过程中也要定期进行检漏检查。
二、泄漏程度的量化
容器泄漏程度的量化,用泄漏率来表示。漏率的定义
[attach]57134[/attach]
其中:△P为压强的变化量
V为容器的体积
△t为时间的变化量
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