比长仪
Alu · 2007-11-28 14:01 · 44743 次点击
以不接触光学定位方法瞄準被测长度﹐主要用於测量线纹距离的精密长度测量工具。
比长仪一般採用测量显微镜或光电显微镜作为瞄準定位部件﹐并以精密线纹尺的刻度或光波波长作为已知长度﹐与被测长度比较而确定量值。比长仪主要用於检定线纹尺﹐测量分划板上的线距和物理﹑天文类照相底片上的光波谱线距离﹐也可用於测量孔径。
比长仪按结构布局分为纵向的和横向的两类。纵向比长仪採用线纹尺作为已知长度﹐且结构设计符合阿贝原则(见长度测量工具)﹐称为阿贝比长仪(见图阿贝比长仪)。测量时﹐先用测量显微镜瞄準被测线条﹐从读数显微镜读得一数值。然后移动工作台﹐再用测量显微镜瞄準另一被测线条﹐从读数显微镜读得另一数值。这两个数值之差即是被测两线条间距离。横向比长仪的被测长度和已知长度是并列布置的﹐这种布局可以缩短导轨长度﹐但要求导轨精度高。採用爱宾斯坦光学系统﹐可以补偿结构不符合阿贝原则而產生的测量误差。以光电显微镜代替上述两种显微镜者﹐称为光电比长仪﹔採用激光或其他单色光波长作为已知长度者﹐分别称为激光比长仪和光电光波比长仪。阿贝比长仪的测量精确度为±1~±1.5微米/200毫米﹐光电比长仪可达到±0.5微米/1000毫米﹐而光电光波比长仪和激光比长仪则可达到±0.2微米/1000毫米。